CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 1

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CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品）

YBS-7500は、優れた耐薬品性、誘電特性を有するパーフルオロポリマー製品であり、無毒性で引火点のないフッ化物です。

また、優れた絶縁性と低い表面張力を備えているため、半導体ウェハー製造、信頼性試験、サーバー冷却における熱管理媒体として好まれている。

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性能特性

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 3 優れた誘電絶縁特性。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 4 表面張力が低く、濡れ性が高い。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 5 速やかな蒸発と残留物のない乾燥。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 6 不燃性で熱安定性に優れている。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 7 高い化学的安定性と材料適合性。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 8 効率的な熱伝達性能。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 10 精密洗浄および浸漬冷却用途に適しています。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 11 毒性が低く、臭いも少ない。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 12 厳選されたグレードは、地球温暖化係数（GWP）が低い。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 13 従来のフッ素系液体に代わる、環境に優しい代替品。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 14 精密な電子部品や半導体部品に対応しています。

CVD装置用フッ素化溶剤（エンジニアードフルイドNovec™7500相当品） 15 幅広い沸点と粘度の製品を取り揃えており、プロセスの柔軟性を高めています。

性能特性

物件	UNITS	YBS-7500	物件	UNITS	YBS-7500
沸点	°C	123-126（目視検査による推定値）	比熱	J/kg-K	1130
流動点	°C	-100	熱伝導率	W/mK	0.066
臨界温度	°C	235	表面張力	mN/m	15.3
臨界圧力（25℃）	MPa	1.56	流体中の水の溶解度	重量比ppm	58
蒸気圧（25℃）	kPa	1.92	流体の水への溶解度	重量比でppmまたはppb	4.6
蒸発熱	kJ/kg	87	絶縁耐力範囲、0.1インチギャップ	kV	38
液体の密度	kg/m³	1748	誘電率（1kHz）	-	5.6
膨張係数	K- 1	0.0015	体積抵抗率	オーム-cm	2x 10 10
動粘性	cSt	0.81	地球温暖化係数	-	98
絶対粘度	cP	1.5

用途およびパッケージ仕様

高級洗浄剤として使用される

半導体エッチングキャビティや部品の洗浄、フッ素残留物の除去、FOUP（フロントオープン標準ウェーハ）（ボックス）の洗浄、精密電子部品からの微粒子不純物の洗浄、LCD/OLEDディスプレイ、光学部品、レンズの洗浄、自動車エンジン部品の洗浄、通信機器、航空機エンジン、酸素パイプライン機器の洗浄、医療機器やハイエンドチップの洗浄などに使用できます。

フッ素化溶剤として使用される

電子コーティングやスクリーンコーティングの希釈剤、フッ素化油、フッ素化樹脂、フッ素化コーティング希釈剤、反応溶媒、分析用溶媒、抽出溶媒などとして使用できます。

冷媒として使用される

データセンターの浸漬冷媒、電力機器の浸漬冷媒、ドライエッチング装置、フォトリソグラフィー装置、イオンジェット装置、プローブ、情報処理装置の温度制御冷媒として使用できます。また、食品業界の冷却装置、凍結乾燥、ゴムやプラスチックの凍結および粉砕、化学および製薬業界の冷却装置にも使用できます。

中間段階として使用される

フッ素系界面活性剤やその他のフッ素系化学物質の合成における中間体として使用される。

カスタムYBS-8030速乾性ドライフィルム潤滑剤メーカーYBS 6 本製品は1kg、5kg、25kg、200kgのドラム缶入りで供給されます。

半導体エッチングキャビティと部品を洗浄する

クリーン... FOUPs（前面開口型標準ウェハー）（箱入り）

LCD/OLEDディスプレイのクリーニング

光学部品およびレンズ

精密電子部品

洗浄エンジン部品

食品業界における冷却装置

ドライエッチング装置

電力機器用浸漬冷媒

データセンターにおける浸漬式冷媒

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操作上の注意事項

■換気の良い場所で使用してください。
■目との接触および皮膚への長時間の接触を避けてください。
■使用しないときは容器の蓋をしっかり閉めてください。
■他の化学物質と混ぜないでください。
■直射日光を避け、涼しく乾燥した場所に保管してください。

使用方法

■浸漬、噴霧、または超音波洗浄によって塗布してください。
■洗浄対象部品に完全に接触させてください。
■洗浄後は自然乾燥させてください。すすぎは不要です。
■冷却には密閉システムで使用し、密封状態を保ってください。

お客様のニーズについて話し合いましょう。

当社または当社製品に関する詳細情報をご希望の場合は、下記の問い合わせフォームにご記入ください。