用於 CVD 設備的氟化溶劑，相當於工程流體 Novec™7500。
YBS-7500 是一種全氟聚合物產品，具有優異的耐化學性、介電性能，並且是一種無毒、無閃點的氟化物。
它還具有良好的絕緣性能和低表面張力，使其成為半導體晶圓製造、可靠性測試和伺服器冷卻的首選熱管理介質。
5.0
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性能特徵
性能特徵
| 特性 | UNITS | YBS-7500 | 特性 | UNITS | YBS-7500 |
| 沸點 | °C | 123-126（目測估計） | 比熱容 | J/kg-K | 1130 |
| 傾點 | °C | -100 | 熱導率 | 瓦/米開爾文 | 0.066 |
| 臨界溫度 | °C | 235 | 表面張力 | mN/m | 15.3 |
| 臨界壓力（25℃） | 百萬帕 | 1.56 | 水在液體中的溶解度 | 按重量計，ppm | 58 |
| 蒸氣壓（25℃） | 千帕 | 1.92 | 液體在水中的溶解度 | ppm 或 ppb（重量比） | 4.6 |
| 汽化熱 | 千焦/公斤 | 87 | 介電強度範圍，0.1吋間隙 | 千伏 | 38 |
| 液體密度 | 公斤/立方米 | 1748 | 1kHz時的介電常數 | - | 5.6 |
| 膨脹係數 | K- 1 | 0.0015 | 體積電阻率 | 歐姆-厘米 | 2x 10 10 |
| 運動黏度 | cSt | 0.81 | 全球暖化潛勢 | - | 98 |
| 絕對黏度 | cP | 1.5 |
應用和包裝規格
1
用作高端清潔劑
它可用於清潔半導體蝕刻腔和元件；去除氟殘留沉積物；以及清潔…FOUP（正面開口標準晶圓）（盒裝）；清潔精密電子元件上的顆粒雜質；清潔液晶/OLED顯示器、光學元件和透鏡；清洗汽車發動機部件；清潔通信設備、飛機發動機和氧氣管道設備；清潔設備和高端晶片等。
2
用作氟化溶劑
它可以用作電子塗料和螢幕塗料的稀釋劑；氟化油、氟化樹脂和氟化塗料的稀釋劑；反應溶劑；以及用於分析用途。萃取溶劑等。
3
用作冷媒
它可以用作資料中心的浸沒式冷媒；電力設備的浸沒式冷媒；乾蝕刻設備、光刻設備、離子噴射設備、探針和資訊處理設備的溫度控製冷媒；乾式蝕刻設備、光刻設備、離子噴射設備、探針和資訊處理設備的溫度控製冷媒；它還可以用於食品工業的冷卻設備、冷凍乾燥、橡膠和塑膠的冷凍和破碎，以及化學和製藥業的冷卻設備。
4
用作中間體
用作合成氟化界面活性劑和其他氟化化學品的中間體。
清潔半導體蝕刻腔和元件
清潔…FOUP（正面開口標準晶圓）（盒裝）
清潔液晶/OLED顯示屏
光學元件和透鏡
精密電子元件
清洗引擎部件
食品業的冷卻設備
乾蝕刻設備
電力設備用浸沒式冷媒
資料中心浸沒式冷媒
操作注意事項
■請在通風良好的地方使用。
■避免接觸眼睛和長時間接觸皮膚。
■不使用時，請將容器蓋緊。
■請勿與其他化學品混合使用。
■請置於陰涼乾燥處，避免陽光直射。
■避免接觸眼睛和長時間接觸皮膚。
■不使用時，請將容器蓋緊。
■請勿與其他化學品混合使用。
■請置於陰涼乾燥處，避免陽光直射。
如何使用
■可採用浸泡、噴灑或超音波清洗方式清洗。
■確保與待清洗零件充分接觸。
■清洗後自然蒸發即可，無需沖洗。
■用於冷卻時，請在封閉系統中使用並保持密封。
■確保與待清洗零件充分接觸。
■清洗後自然蒸發即可，無需沖洗。
■用於冷卻時，請在封閉系統中使用並保持密封。
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