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用於半導體製造的PFPE潤滑劑和電子氟化液體

用於晶圓加工、真空系統和熱控制的無污染、無塵室級解決方案

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精美設計,精選材質

用於半導體製造的PFPE潤滑劑和電子氟化液體

用於晶圓加工、真空系統和熱控制的無污染、無塵室級解決方案

引言及產業痛點

半導體製造是要求最嚴苛的工業環境之一,即使是微量的污染、氣體逸出或潤滑失效也會導致良率下降、設備停機和代價高昂的製程中斷。標準潤滑劑和冷卻劑往往無法滿足無塵室、高真空系統和熱控制製程的嚴格要求。


YBS 提供全系列半導體級 PFPE 潤滑劑、真空泵油和電子氟化液體,旨在應對這些關鍵挑戰。我們的產品具有超低釋氣、化學惰性、寬溫度穩定性以及零污染風險等特點,是晶圓加工、半導體設備、真空系統和熱管理應用的理想選擇。

半導體製程核心解決方案

高真空精密驅動系統
晶圓處理和精密運動系統
高負載和高扭矩部件
真空系統及幫浦潤滑
熱控制與浸沒式冷卻
惡劣環境與腐蝕防護
關節式機械手臂潤滑

高真空精密驅動系統

我們的 PFPE 潤滑脂專為真空室軸承、滾珠螺桿、真空閥和玻璃金屬密封件而設計,可提供持久、低揮發性潤滑,使其非常適合要求苛刻的高真空環境。

推薦產品:

YBS-5300/YBS-6300S(直接相當於NYETORR 5300、NYETORR 6300S)

主要優點:工作溫度範圍寬(-75°C 至 250°C),揮發性和放氣量極低,化學穩定性好,消除製程污染,滿足半導體真空設備長期穩定運作的要求。

關節式機械手臂潤滑

晶圓處理和精密運動系統

對於機械手臂、晶圓傳輸系統和精密驅動平台,我們的 PFPE 潤滑脂可提供超低摩擦、無塵室安全的潤滑。

推薦產品:

YBS-207(與 Krytox™ GPL-207 直接等效)


主要優點:工作溫度範圍為 0–150°C,低波動性,高速性能,對敏感晶圓製程無污染風險。

推薦產品:

YBS-5097R(與 NyeClean 5097R 直接對應)


 主要優點:超低釋氣量避免晶圓污染,確保高生產良率;寬溫度範圍內穩定的潤滑性能可防止運動部件磨損和卡滯。

關節式機械手臂潤滑

高負載和高扭矩部件

對於半導體製造中的重型齒輪、直線運動系統和高扭力機器人零件,我們的極壓 PFPE 潤滑脂可提供持久的保護。

推薦產品:

YBS-215 / YBS-216(相當於 Krytox™ GPL-215 / GPL-216)

 主要優點:優異的抗磨損性能、高承載能力、在衝擊負荷下延長使用壽命。

關節式機械手臂潤滑

真空系統及幫浦潤滑

我們的真空泵油專為深真空環境而設計,包括擴散泵、旋轉泵、渦輪分子泵和真空泵系統。

推薦產品:

YBS-VPF系列(相當於Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256)

YBS-1301 / 1302 / 1303(相當於 Solvay YL-VAC 06/6、Y14/6、Y16/6、Y25/6)

 主要優點:蒸氣壓低,在高真空下性能穩定,在關鍵泵送設備中使用壽命長。

關節式機械手臂潤滑

熱控制與浸沒式冷卻

我們的電子氟化液體為半導體製造和測試製程提供可靠的熱管理,包括晶圓冷卻、老化測試和高密度電子冷卻。

推薦產品:

YBS-J7100 / J7200 / J7300(相當於 3M Novec 7100/7200/7300)

YBS-FC40(相當於 3M Novec FC40)

YBS-J7500(相當於 3M Novec 7500)

YBS-3283(相當於 3M Fluorinert 3283)

 主要優點:不導電、無污染、導熱穩定,可安全直接接觸晶圓及電子元件。

關節式機械手臂潤滑

惡劣環境與腐蝕防護

對於在潮濕或化學腐蝕性環境中運作的半導體設備,我們的 PFPE 潤滑脂可提供可靠的防腐蝕保護和長期潤滑。

推薦產品:

YBS-227(相當於 Krytox™GPL-223/224/225/226/227 系列)

 主要優點:耐潮濕和耐化學腐蝕,非常適合用於清潔製程或潮濕環境下的設備。

為各產業夥伴量身訂做潤滑解決方案

YBS產品相當於在半導體領域的應用
YBS-5097RNyeClean 5097R晶圓傳送機器人軸承、直線導軌和滾珠螺桿
YBS-5300NYETORR 5300高真空系統:磨口玻璃接頭、活塞和真空密封件
YBS- 6300SNYETORR 6300S真空機器手臂軸承,OLED/QLED腔體導軌
高真空系統:磨口玻璃接合、活塞、真空閥
YBS-207Krytox™ GPL-207晶圓處理系統、精密驅動平台、無塵室設備
YBS-215 / 216Krytox™ GPL-215 / 216高負載齒輪、直線運動系統、高扭力機器人零件
YBS-227Krytox™ GPL-223/224/225/226/227防腐蝕、潮濕/化學環境、清洗前/後潤滑
YBS-1107Krytox™ GPL-107輕載機械零件、小型變速箱、潤滑脂基礎油
YBS-VPF系列Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256真空幫浦潤滑(擴散幫浦、旋轉幫浦、真空系統)
YBS-1301 / 1302 / 1303索爾維 YL-VAC 06/6、Y14/6、Y16/6、Y25/6旋轉泵浦、渦輪分子泵浦、羅茨泵浦、真空密封
YBS-J7100 / J7200 / J73003M Novec 7100/7200/7300浸沒式冷卻、高功率熱管理、晶圓冷卻
YBS-FC403M Novec FC40電子元件冷卻、精密儀器熱控制
YBS-J75003M Novec 7500資料中心和人工智慧伺服器浸沒式冷卻,高密度運算
YBS-32833M Fluorinert 3283晶圓測試設備冷卻、功率電子模組、熱交換系統
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為什麼選擇 YBS 進行半導體應用

半導體級品質控制:嚴格的批次測試和可追溯性,以確保性能的一致性。

潔淨工作條件適應性:低顆粒釋放特性,適合嚴格的潔淨生產場景,與主流半導體製造設備相容。

定製配方支援:針對獨特的製程要求量身定制的解決方案,包括黏度和性能調整。

穩定的供應鏈:可靠的生產和交付,以滿足半導體製造的大量需求。

完整的技術文件:每件產品均提供 TDS、MSDS 和合規證書。

我們的系列產品應用於半導體產業

專為半導體製造設計的高純度PFPE潤滑劑及含氟化學品。 YBS半導體潤滑劑具有化學惰性、熱穩定性和超低釋氣量,可最大限度地降低真空和高溫環境下的污染風險。

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