PFPE-Schmierstoffe und fluorierte Flüssigkeiten für die Halbleiterfertigung
Kontaminationsfreie Reinraumlösungen für die Waferbearbeitung, Vakuumsysteme und Temperaturkontrolle
Exquisites Design, ausgewählte Materialien
PFPE-Schmierstoffe und fluorierte Flüssigkeiten für die Halbleiterfertigung
Kontaminationsfreie Reinraumlösungen für die Waferbearbeitung, Vakuumsysteme und Temperaturkontrolle
Einleitung & Schwachstellen der Branche
Die Halbleiterfertigung zählt zu den anspruchsvollsten Industrieumgebungen. Selbst geringste Verunreinigungen, Ausgasungen oder Schmierstoffausfälle können zu Ertragseinbußen, Anlagenstillständen und kostspieligen Prozessunterbrechungen führen. Standard-Schmierstoffe und Kühlmittel genügen oft nicht den strengen Anforderungen von Reinräumen, Hochvakuumsystemen und Temperaturregelungsprozessen.
YBS bietet ein umfassendes Portfolio an PFPE-Schmierstoffen in Halbleiterqualität, Vakuumpumpenölen und fluorierten Flüssigkeiten für die Elektronikindustrie, die speziell für diese kritischen Herausforderungen entwickelt wurden. Unsere Produkte zeichnen sich durch extrem geringe Ausgasung, chemische Inertheit, hohe Temperaturstabilität und kein Kontaminationsrisiko aus und eignen sich daher ideal für die Waferbearbeitung, Halbleiteranlagen, Vakuumsysteme und Anwendungen im Wärmemanagement.
Kernlösungen für Halbleiterprozesse
Hochvakuum-Präzisionsantriebssysteme
Unsere PFPE-Fette wurden für Vakuumkammerlager, Kugelgewindetriebe, Vakuumventile und Glas-Metall-Dichtungen entwickelt und bieten eine langanhaltende Schmierung mit geringer Ausgasung. Dadurch eignen sie sich ideal für anspruchsvolle Hochvakuumumgebungen.
Empfohlene Produkte:
YBS-5300/YBS-6300S (direktes Äquivalent zu NYETORR 5300, NYETORR 6300S)
Wichtigste Vorteile: Breiter Betriebstemperaturbereich (-75 °C bis 250 °C), extrem geringe Flüchtigkeit und Ausgasung, chemische Stabilität, Vermeidung von Prozessverunreinigungen und Erfüllung der Anforderungen für den langfristigen, stabilen Betrieb von Vakuumanlagen für die Halbleiterindustrie.
Wafer-Handling- und Präzisionsbewegungssysteme
Für Roboterarme, Wafer-Transfersysteme und Präzisionsantriebsplattformen bieten unsere PFPE-Fette eine reibungsarme, reinraumtaugliche Schmierung.
Empfohlenes Produkt:
YBS-207 (Direktes Äquivalent zu Krytox™ GPL-207)
Wichtigste Vorteile: Betriebstemperaturbereich 0–150°C, geringe Flüchtigkeit, hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit, kein Kontaminationsrisiko bei empfindlichen Waferprozessen.
Empfohlenes Produkt:
YBS-5097R (Direktes Äquivalent zu NyeClean 5097R)
Wichtigste Vorteile: Extrem geringe Ausgasung verhindert Waferverunreinigungen und gewährleistet eine hohe Produktionsausbeute; stabile Schmierung in einem breiten Temperaturbereich verhindert Abrieb und Blockieren beweglicher Teile
Bauteile für hohe Belastungen und hohe Drehmomente
Für hochbelastete Zahnräder, Linearantriebssysteme und drehmomentstarke Roboterbauteile in der Halbleiterfertigung bieten unsere PFPE-Hochdruckfette einen lang anhaltenden Schutz.
Empfohlene Produkte:
YBS-215 / YBS-216 (Entspricht Krytox™ GPL-215 / GPL-216)
Hauptvorteile: Überlegene Verschleißfestigkeit, hohe Belastbarkeit, verlängerte Lebensdauer auch bei Stoßbelastungen.
Vakuumsysteme & Pumpenschmierung
Unsere Vakuumpumpenöle sind für Hochvakuumumgebungen konzipiert und eignen sich für Diffusionspumpen, Drehschieberpumpen, Turbomolekularpumpen und Vakuumpumpensysteme.
Empfohlene Produkte:
YBS-VPF-Serie (Entspricht Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256)
YBS-1301 / 1302 / 1303 (Entspricht Solvay YL-VAC 06/6, Y14/6, Y16/6, Y25/6)
Wichtigste Vorteile: Niedriger Dampfdruck, stabile Leistung unter Hochvakuum, lange Lebensdauer in kritischen Pumpanlagen.
Thermische Regelung und Tauchkühlung
Unsere elektronischen fluorierten Flüssigkeiten gewährleisten ein zuverlässiges Wärmemanagement für Halbleiterfertigungs- und Testprozesse, einschließlich Waferkühlung, Burn-in-Tests und Kühlung von hochdichten Elektronikbauteilen.
Empfohlene Produkte:
YBS-J7100 / J7200 / J7300 (Entspricht 3M Novec 7100/7200/7300)
YBS-FC40 (entspricht 3M Novec FC40)
YBS-J7500 (Entspricht 3M Novec 7500)
YBS-3283 (entspricht 3M Fluorinert 3283)
Wichtigste Vorteile: Nichtleitend, nicht kontaminierend, stabile Wärmeübertragung, sicher für den direkten Kontakt mit Wafern und elektronischen Bauteilen.
Schutz vor rauen Umgebungsbedingungen und Korrosion
Für Halbleiteranlagen, die in feuchten oder chemisch aggressiven Umgebungen betrieben werden, bieten unsere PFPE-Fette zuverlässigen Korrosionsschutz und Langzeitschmierung.
Empfohlene Produkte:
YBS-227 (Entspricht der Krytox™-Serie GPL-223/224/225/226/227)
Hauptvorteile: Beständig gegen Feuchtigkeit und Chemikalien, ideal für Geräte, die Reinigungsprozessen oder feuchten Bedingungen ausgesetzt sind.
Maßgeschneiderte Schmierstofflösungen für jeden Industriepartner
| YBS-Produkt | Entspricht | Anwendung in der Halbleiterindustrie |
| YBS-5097R | NyeClean 5097R | Wafer-Transferroboterlager, Linearführungen und Kugelgewindetriebe |
| YBS-5300 | NYETORR 5300 | Hochvakuumsysteme: Schliffverbindungen, Kolben und Vakuumdichtungen |
| YBS- 6300S | NYETORR 6300S | Lager für Vakuumroboterarme, Führungsschienen für OLED/QLED-Kammern |
| Hochvakuumsysteme: Schliffverbindungen, Kolben, Vakuumventile | ||
| YBS-207 | Krytox™ GPL-207 | Wafer-Handhabungssysteme, Präzisionsantriebsplattformen, Reinraumausrüstung |
| YBS-215 / 216 | Krytox™ GPL-215 / 216 | Hochbelastbare Zahnräder, Linearantriebssysteme, Roboterteile mit hohem Drehmoment |
| YBS-227 | Krytox™ GPL-223/224/225/226/227 | Korrosionsschutz, feuchte/chemische Umgebungen, Vor-/Nachreinigungsschmierung |
| YBS-1107 | Krytox™ GPL-107 | Leichtbelastete mechanische Teile, kleine Getriebe, Basisöl für Fette |
| YBS-VPF-Serie | Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256 | Schmierung von Vakuumpumpen (Diffusionspumpen, Drehschieberpumpen, Vakuumsysteme) |
| YBS-1301 / 1302 / 1303 | Solvay YL-VAC 06/6, Y14/6, Y16/6, Y25/6 | Rotationspumpen, Turbomolekularpumpen, Roots-Pumpen, Vakuumdichtung |
| YBS-J7100 / J7200 / J7300 | 3M Novec 7100/7200/7300 | Immersionskühlung, Hochleistungs-Wärmemanagement, Waferkühlung |
| YBS-FC40 | 3M Novec FC40 | Kühlung elektronischer Bauteile, thermische Steuerung von Präzisionsinstrumenten |
| YBS-J7500 | 3M Novec 7500 | Immersionskühlung für Rechenzentren und KI-Server, Hochleistungsrechner |
| YBS-3283 | 3M Fluorinert 3283 | Kühlung von Wafer-Testgeräten, Leistungselektronikmodule, Wärmetauschsysteme |
Kontaktieren Sie unser Halbleiter-Technikteam, um Ihre spezifischen Geräte- und Prozessanforderungen zu besprechen .
Warum YBS für Halbleiteranwendungen wählen?
Qualitätskontrolle in Halbleiterqualität: Strenge Chargenprüfung und Rückverfolgbarkeit gewährleisten eine gleichbleibende Leistung.
Anpassungsfähigkeit an saubere Arbeitsbedingungen: Die geringe Partikelfreisetzungseigenschaft eignet sich für strenge Reinraum-Produktionsszenarien und ist mit gängigen Halbleiterfertigungsanlagen kompatibel.
Unterstützung bei der kundenspezifischen Formulierung: Maßgeschneiderte Lösungen für individuelle Prozessanforderungen, einschließlich Viskositäts- und Leistungsanpassungen.
Stabile Lieferkette: Zuverlässige Produktion und Lieferung, um den hohen Bedarf der Halbleiterfertigung zu decken.
Vollständige technische Dokumentation: Für jedes Produkt werden TDS, MSDS und Konformitätszertifikate bereitgestellt.
Unsere Produktreihe für die Halbleiterindustrie
Hochreine PFPE-Schmierstoffe und Fluorchemikalien speziell für die Halbleiterfertigung. Die Halbleiterschmierstoffe von YBS bieten chemische Inertheit, thermische Stabilität und extrem geringe Ausgasung, um das Kontaminationsrisiko in Vakuum- und Hochtemperaturumgebungen zu minimieren.
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Jialede (JLD) Schmierstoffe
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