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用于半导体制造的PFPE润滑剂和电子氟化液体

用于晶圆加工、真空系统和热控制的无污染、洁净室级解决方案

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精美设计,精选材质

用于半导体制造的PFPE润滑剂和电子氟化液体

用于晶圆加工、真空系统和热控制的无污染、洁净室级解决方案

引言及行业痛点

半导体制造是要求最苛刻的工业环境之一,即使是微量的污染、气体逸出或润滑失效也会导致良率下降、设备停机和代价高昂的工艺中断。标准润滑剂和冷却剂往往无法满足洁净室、高​​真空系统和热控制工艺的严格要求。


YBS 提供全系列半导体级 PFPE 润滑剂、真空泵油和电子氟化液体,旨在应对这些关键挑战。我们的产品具有超低释气、化学惰性、宽温度稳定性以及零污染风险等优点,是晶圆加工、半导体设备、真空系统和热管理应用的理想之选。

半导体工艺核心解决方案

高真空精密驱动系统
晶圆处理和精密运动系统
高负载和高扭矩部件
真空系统及泵润滑
热控制与浸没式冷却
恶劣环境与腐蚀防护
关节式机械臂润滑

高真空精密驱动系统

我们的 PFPE 润滑脂专为真空室轴承、滚珠丝杠、真空阀和玻璃金属密封件而设计,可提供持久、低挥发性润滑,使其非常适合要求苛刻的高真空环境。

推荐产品:

YBS-5300/YBS-6300S(直接相当于NYETORR 5300、NYETORR 6300S)

主要优点:工作温度范围宽(-75°C 至 250°C),挥发性和放气量极低,化学稳定性好,消除工艺污染,满足半导体真空设备长期稳定运行的要求。

关节式机械臂润滑

晶圆处理和精密运动系统

对于机械臂、晶圆传输系统和精密驱动平台,我们的 PFPE 润滑脂可提供超低摩擦、洁净室安全的润滑。

推荐产品:

YBS-207(与 Krytox™ GPL-207 直接等效)


主要优点:工作温度范围为 0–150°C,低波动性,高速性能,对敏感晶圆工艺无污染风险。

推荐产品:

YBS-5097R(与 NyeClean 5097R 直接对应)


 主要优势:超低释气量避免晶圆污染,确保高生产良率;宽温度范围内稳定的润滑性能防止运动部件磨损和卡滞。

关节式机械臂润滑

高负载和高扭矩部件

对于半导体制造中的重型齿轮、直线运动系统和高扭矩机器人部件,我们的极压 PFPE 润滑脂可提供持久的保护。

推荐产品:

YBS-215 / YBS-216(相当于 Krytox™ GPL-215 / GPL-216)

 主要优点:优异的抗磨损性能、高承载能力、在冲击载荷下延长使用寿命。

关节式机械臂润滑

真空系统及泵润滑

我们的真空泵油专为深真空环境而设计,包括扩散泵、旋转泵、涡轮分子泵和真空泵系统。

推荐产品:

YBS-VPF系列(相当于Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256)

YBS-1301 / 1302 / 1303(相当于 Solvay YL-VAC 06/6、Y14/6、Y16/6、Y25/6)

 主要优点:蒸汽压低,在高真空下性能稳定,在关键泵送设备中使用寿命长。

关节式机械臂润滑

热控制与浸没式冷却

我们的电子氟化液体为半导体制造和测试工艺提供可靠的热管理,包括晶圆冷却、老化测试和高密度电子冷却。

推荐产品:

YBS-J7100 / J7200 / J7300(相当于 3M Novec 7100/7200/7300)

YBS-FC40(相当于 3M Novec FC40)

YBS-J7500(相当于 3M Novec 7500)

YBS-3283(相当于 3M Fluorinert 3283)

 主要优点:不导电、无污染、导热稳定,可安全直接接触晶圆和电子元件。

关节式机械臂润滑

恶劣环境与腐蚀防护

对于在潮湿或化学腐蚀性环境中运行的半导体设备,我们的 PFPE 润滑脂可提供可靠的防腐蚀保护和长期润滑。

推荐产品:

YBS-227(相当于 Krytox™GPL-223/224/225/226/227 系列)

 主要优点:耐潮湿和耐化学腐蚀,非常适合用于清洁过程或潮湿环境下的设备。

为各行业合作伙伴量身定制润滑解决方案

YBS产品相当于在半导体领域的应用
YBS-5097RNyeClean 5097R晶圆传送机器人轴承、直线导轨和滚珠丝杠
YBS-5300NYETORR 5300高真空系统:磨口玻璃接头、活塞和真空密封件
YBS- 6300SNYETORR 6300S真空机器人手臂轴承,OLED/QLED腔体导轨
高真空系统:磨口玻璃接头、活塞、真空阀
YBS-207Krytox™ GPL-207晶圆处理系统、精密驱动平台、洁净室设备
YBS-215 / 216Krytox™ GPL-215 / 216高负载齿轮、直线运动系统、高扭矩机器人部件
YBS-227Krytox™ GPL-223/224/225/226/227防腐蚀、潮湿/化学环境、清洗前/后润滑
YBS-1107Krytox™ GPL-107轻载机械零件、小型齿轮箱、润滑脂基础油
YBS-VPF系列Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256真空泵润滑(扩散泵、旋转泵、真空系统)
YBS-1301 / 1302 / 1303索尔维 YL-VAC 06/6、Y14/6、Y16/6、Y25/6旋转泵、涡轮分子泵、罗茨泵、真空密封
YBS-J7100 / J7200 / J73003M Novec 7100/7200/7300浸没式冷却、高功率热管理、晶圆冷却
YBS-FC403M Novec FC40电子元件冷却、精密仪器热控制
YBS-J75003M Novec 7500数据中心和人工智能服务器浸没式冷却,高密度计算
YBS-32833M Fluorinert 3283晶圆测试设备冷却、功率电子模块、热交换系统
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请联系我们的半导体技术团队,讨论您具体的设备和工艺要求

为什么选择 YBS 进行半导体应用

半导体级质量控制:严格的批次测试和可追溯性,以确保性能的一致性。

洁净工作条件适应性:低颗粒释放特性,适合严格的洁净生产场景,与主流半导体制造设备兼容。

定制配方支持:针对独特的工艺要求量身定制的解决方案,包括粘度和性能调整。

稳定的供应链:可靠的生产和交付,以满足半导体制造的大批量需求。

完整的技术文档:每件产品均提供 TDS、MSDS 和合规证书。

我们的系列产品应用于半导体行业

专为半导体制造设计的高纯度PFPE润滑剂和含氟化学品。YBS半导体润滑剂具有化学惰性、热稳定性和超低释气量,可最大限度地降低真空和高温环境下的污染风险。

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