半导体工艺核心解决方案
为各行业合作伙伴量身定制润滑解决方案
| YBS产品 | 相当于 | 在半导体领域的应用 |
| YBS-5097R | NyeClean 5097R | 晶圆传送机器人轴承、直线导轨和滚珠丝杠 |
| YBS-5300 | NYETORR 5300 | 高真空系统:磨口玻璃接头、活塞和真空密封件 |
| YBS- 6300S | NYETORR 6300S | 真空机器人手臂轴承,OLED/QLED腔体导轨 |
| 高真空系统:磨口玻璃接头、活塞、真空阀 | ||
| YBS-207 | Krytox™ GPL-207 | 晶圆处理系统、精密驱动平台、洁净室设备 |
| YBS-215 / 216 | Krytox™ GPL-215 / 216 | 高负载齿轮、直线运动系统、高扭矩机器人部件 |
| YBS-227 | Krytox™ GPL-223/224/225/226/227 | 防腐蚀、潮湿/化学环境、清洗前/后润滑 |
| YBS-1107 | Krytox™ GPL-107 | 轻载机械零件、小型齿轮箱、润滑脂基础油 |
| YBS-VPF系列 | Krytox™ VPF 1506/1514/1525/1531XP/16256 | 真空泵润滑(扩散泵、旋转泵、真空系统) |
| YBS-1301 / 1302 / 1303 | 索尔维 YL-VAC 06/6、Y14/6、Y16/6、Y25/6 | 旋转泵、涡轮分子泵、罗茨泵、真空密封 |
| YBS-J7100 / J7200 / J7300 | 3M Novec 7100/7200/7300 | 浸没式冷却、高功率热管理、晶圆冷却 |
| YBS-FC40 | 3M Novec FC40 | 电子元件冷却、精密仪器热控制 |
| YBS-J7500 | 3M Novec 7500 | 数据中心和人工智能服务器浸没式冷却,高密度计算 |
| YBS-3283 | 3M Fluorinert 3283 | 晶圆测试设备冷却、功率电子模块、热交换系统 |
我们的系列产品应用于半导体行业
专为半导体制造设计的高纯度PFPE润滑剂和含氟化学品。YBS半导体润滑剂具有化学惰性、热稳定性和超低释气量,可最大限度地降低真空和高温环境下的污染风险。