การตรวจสอบเหล่านี้มีความสำคัญมากกว่าแค่ในเกาหลี มันบ่งบอกถึงการเปลี่ยนแปลงที่ทีมงานด้าน EHS ในโรงงานผลิตทั่วโลกกำลังเผชิญอยู่ นั่นคือ การจัดการความเสี่ยงจากฟลูออไรด์ได้ถูกย้ายจากกระบวนการรับมือฉุกเฉินหลังจากการรั่วไหล ไปสู่การตรวจสอบคุณสมบัติของวัสดุก่อนที่จะมีการออกใบสั่งซื้อเสียอีก สารหล่อลื่น ซึ่งเคยถูกมองว่าเป็นสินค้าสิ้นเปลือง ก็ได้ถูกรวมเข้าไว้ในขอบเขตนั้นแล้ว
ขอบเขตการตรวจสอบครอบคลุมการตรวจจับก๊าซที่ทำปฏิกิริยา ฝักบัวฉุกเฉิน การทำให้ละอองกรดเป็นกลาง และที่สำคัญคือ ความสมบูรณ์ของเอกสารข้อมูลความปลอดภัยของวัสดุ (MSDS) สำหรับวัสดุสิ้นเปลืองในกระบวนการผลิต รวมถึงสารหล่อลื่นที่มีฟลูออรีน รายการเหตุการณ์ที่พบนั้นเหมือนกับการสำรวจคลังสารฟลูออไรด์ของโรงงาน: HF, NF₃, SF₆ และ CF₄ ซึ่งกระจุกตัวอยู่ในบริเวณกัดกรด สถานีทำความสะอาดแบบเปียก และระบบส่งสารเคมี
จังหวะการออกกฎระเบียบของจีนก็ชี้ไปในทิศทางเดียวกัน ในปี 2024 กระทรวงการจัดการเหตุฉุกเฉินได้นำก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์และสารเคมีในกระบวนการผลิตที่มีฟลูออรีนเข้ามาอยู่ในเกณฑ์การระบุอันตรายที่สำคัญสำหรับสถานประกอบการอุตสาหกรรมและการค้า และร่างมาตรฐานการปล่อยมลพิษปี 2025 จากกระทรวงนิเวศวิทยาและสิ่งแวดล้อมได้เพิ่มความเข้มงวดข้อกำหนดเกี่ยวกับของเสียที่มีสารประกอบอินทรีย์ระเหยง่าย (VOC) และฟลูออไรด์ ผลในทางปฏิบัติก็คือ สารหล่อลื่นที่ไม่สามารถจัดทำเอกสารการปฏิบัติตามข้อกำหนดที่ครบถ้วนและตรวจสอบย้อนกลับได้นั้น กลายเป็นความเสี่ยงด้านการจัดซื้อจัดจ้าง ไม่ใช่แค่ความเสี่ยงทางเทคนิคเท่านั้น
การสัมผัสกับฟลูออไรด์ในโรงงานผลิตเกิดขึ้นได้ในสามระดับที่แตกต่างกัน และแต่ละระดับจะส่งผลให้เกิดความเสียหายที่บริเวณรอยต่อของสารหล่อลื่นแตกต่างกัน การเข้าใจว่าคุณกำลังออกแบบสำหรับระดับใดนั้น คือความแตกต่างระหว่างจาระบีที่ผ่านการตรวจสอบและจาระบีที่ใช้งานได้จริง
ชั้น | สารตัวแทน | อันตรายหลัก | สถานที่จัดงานสุดเก๋ทั่วไป | ผลกระทบต่อสารหล่อลื่น |
ก๊าซกระบวนการปฏิกิริยา | HF, NF₃, SF₆, CF₄ | พิษเฉียบพลัน แผลไหม้จากสารเคมี การขาดอากาศหายใจ | การกัดกรด, การทำความสะอาดแบบเปียก, CVD | ละอองกรดจะกัดกร่อนสารเพิ่มความข้นของสบู่ → ทำให้ไขมันสลายตัว |
สารเคมีแปรรูปที่มีฟลูออรีนเป็นองค์ประกอบ | น้ำยาทำความสะอาดและสารกัดกร่อนที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบ | การระคายเคืองผิวหนัง การปล่อยสาร VOC | ทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ ลอกออก | จาระบีบวม → สารหล่อลื่นถูกชะล้างออกไป |
สารหล่อลื่นฟลูออริเนต | จาระบี PFPE ฟิล์มแห้งฟลูออริเนต | ผลิตภัณฑ์จากการสลายตัวด้วยความร้อน, ออกซิเดชัน | ปั๊มสุญญากาศ, ห้อง CVD, หุ่นยนต์ | กำหนดระดับความปลอดภัยโดยธรรมชาติของเครื่องมือโดยตรง |
เมื่อพิจารณาข้อกำหนดต่างๆ ใน SEMI S2/S8, OSHA 29 CFR 1910.1200 (HazCom) และ GB/T 16483 จะพบว่าข้อกำหนดต่างๆ สอดคล้องกันในสี่ประการดังนี้:
จาระบี PFPE ผลิตจากน้ำมันพื้นฐาน PFPE ที่เพิ่มความข้นด้วย PTFE โครงสร้างหลักคือโซ่ C–O–C อีเทอร์ที่มีหมู่ข้างฟลูออรีนทั้งหมด ซึ่งเป็นโครงสร้างที่ไม่ไวต่อปฏิกิริยาเคมีรอบข้างภายในเครื่องมือในกระบวนการผลิต ความไม่ไวต่อปฏิกิริยาเคมีนี้เองที่เป็นสิ่งที่ทำให้มันเป็นไปตามข้อกำหนด
พารามิเตอร์ | จาระบี PFPE | จาระบีน้ำมันแร่ | จาระบีโพลียูเรีย | จาระบีซิลิโคน | ข้อดีของ PFPE |
จุดวาบไฟ (แบบถ้วยเปิด) | ไม่มี | 200–260 องศาเซลเซียส | 230–280 องศาเซลเซียส | 300–330 องศาเซลเซียส | ไม่ติดไฟ |
อุณหภูมิการจุดระเบิดเอง | >600 °C | 260–370 °C | 280–330 องศาเซลเซียส | 400–450 °C | จะไม่ติดไฟเองที่อุณหภูมิดังกล่าว |
ปฏิกิริยากับ NF₃ | ไม่มี | รุนแรง | ช้า | ปานกลาง | ปลอดภัยในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซในกระบวนการผลิต |
ค่า LD₅₀ ทางปากเฉียบพลัน (หนู) | >5,000 มก./กก. | 2,000–5,000 มก./กก. | 3,000–8,000 มก./กก. | >10,000 มก./กก. | แทบไม่มีพิษ |
การจำแนกประเภทอันตรายตามระบบ GHS | ไม่ได้จัดประเภท | ประเภทที่ 1–3 (การสูดดม) | หมวดหมู่ 2–4 | ไม่ได้จัดประเภท | ไม่ต้องติดฉลากการจัดการพิเศษ |
เกณฑ์การทดสอบ: ASTM D92 (จุดวาบไฟแบบถ้วยเปิด), ASTM E659 (การติดไฟเอง), OECD 423 (ความเป็นพิษเฉียบพลันทางปาก), GB 30000 series (การจำแนกประเภท GHS)
ลองนำตารางนั้นไปเปรียบเทียบกับสภาพแวดล้อมที่ผู้ตรวจสอบต้องเข้าไปสัมผัสดูสิ — สารตกค้าง NF₃/CHF₃ ในห้องกัดกรด ไอระเหย HF ในโต๊ะเปียก และผลพลอยได้จากการทำให้เป็นกลางด้วยละอองกรด จาระบีน้ำมันแร่จะถูกกัดกร่อนด้วยละอองกรดและทิ้งคราบตะกอนที่มีส่วนผสมของสบู่ไว้ ในขณะที่จาระบีซิลิโคนจะเสื่อมสภาพอย่างช้าๆ ภายใต้ NF₃ ความเข้ากันได้ในระยะยาวของ PFPE กับทั้งสามอย่างนี้เป็นเหตุผลที่มันถูกระบุไว้ในข้อกำหนดการหล่อลื่นของ OEM อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำส่วนใหญ่
YBS-1768 เป็นจาระบี PFPE ที่มี PTFE เป็นสารเพิ่มความหนืด อยู่ในระดับ NLGI เกรด 2 พัฒนาโดยบริษัท Dongguan Jialede Lubricating Materials สำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
พารามิเตอร์ | YBS-1768 | วิธีการทดสอบ | เทียบกับ Krytox GPL 205 |
น้ำมันพื้นฐาน | PFPE (–OCF₂CF₂– โครงสร้างหลัก) | สเปกโทรสโกปีอินฟราเรด | เทียบเท่า |
สารเพิ่มความข้น | PTFE | GB/T 19468 | เทียบเท่า |
เกรด NLGI | 2 | GB/T 269 | เทียบเท่า |
จุดตก | ≥260 °C | GB/T 3498 | เทียบเท่า |
ความหนืดของน้ำมันพื้นฐานที่อุณหภูมิ 40 องศาเซลเซียส | 160–200 cSt | GB/T 265 | เทียบเท่า |
ความหนืดของน้ำมันพื้นฐานที่อุณหภูมิ 100 องศาเซลเซียส | 40–50 cSt | GB/T 265 | เทียบเท่า |
จุดวาบไฟ (แบบถ้วยเปิด) | ไม่มี | ASTM D92 | เทียบเท่า |
อุณหภูมิการจุดระเบิดเอง | >620 °C | ASTM E659 | สูงขึ้น 3.3% |
การสูญเสียจากการระเหย, 200 °C × 22 ชั่วโมง | ≤3.0% | GB/T 7325 | เทียบเท่า |
ความเข้ากันได้กับ NF₃, 80 °C × 168 ชั่วโมง | ไม่มีปฏิกิริยาใดๆ | SEMI C3.13 | เทียบเท่า |
ความเข้ากันได้กับ HF 49%, 25 °C × 168 ชั่วโมง | ไม่มีปฏิกิริยาใดๆ | ASTM D543 | เทียบเท่า |
รอยสึกจากการใช้งานสี่ลูก | ≤0.55 มม. | GB/T 12583 | เล็กกว่า 8.3% |
ช่วงอุณหภูมิใช้งาน | -40 ถึง 250 องศาเซลเซียส | การให้คะแนนโรงงาน | เทียบเท่า |
การรับรอง | RoHS 2.0, REACH SVHC, ปราศจากฮาโลเจน | บุคคลที่สาม | ความคุ้มครองเพิ่มเติมของ REACH |
แหล่งที่มา: รายงานการทดสอบจากโรงงาน YBS-1768 (ชุด JLD-2026-0612-3); รายงานจาก SGS ซึ่งเป็นหน่วยงานภายนอก SGS-CB-2026-05417; ข้อมูล Krytox GPL 205 จากเอกสารข้อมูลทางเทคนิคของ Chemours GPL 200 series (ฉบับปี 2024)
3M ถอนตัวออกจากธุรกิจสารหล่อลื่น PFPE ทั่วโลกในปี 2025 ทำให้ Krytox (Chemours), MOLYKOTE (Dow) และ Klüber ครองส่วนแบ่งตลาดจาระบี PFPE สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศจีนประมาณ 78% การตรวจสอบของเกาหลีในปี 2026 ได้เพิ่มปัจจัยกดดันที่สอง คือ วงจรการทบทวนการปฏิบัติตามกฎระเบียบ ซึ่งกำลังเปิดรายชื่อซัพพลายเออร์ที่ปิดไปนานหลายปีอีกครั้ง และจะมีช่องทางใหม่สองช่องทางตามมา
นับตั้งแต่เริ่มการตรวจสอบ แผนก EHS ของโรงงานผลิตชิปขนาดใหญ่ได้ทำการตรวจสอบความปลอดภัยของวัสดุสิ้นเปลืองที่มีฟลูออรีนอีกครั้ง โดยขอให้ซัพพลายเออร์รายเดิมส่งเอกสาร MSDS 16 ส่วน การประกาศ RoHS/REACH และรายงานการทดสอบผลิตภัณฑ์พลอยได้จากฟลูออไรด์ฉบับปรับปรุงใหม่ สำหรับซัพพลายเออร์ PFPE ในประเทศที่ถือเอกสารการปฏิบัติตามข้อกำหนดครบถ้วนอยู่แล้ว — รวมถึง Jialede ด้วย — กระบวนการนี้จะเปิดโอกาสให้สามารถเข้าร่วมได้ภายในระยะเวลาประมาณ 6 ถึง 12 เดือน
ตัวเลือก | ราคา (หยวน/กก.) | ระยะเวลานำส่ง | MOQ | เอกสารประกอบ | ความสามารถในการจัดส่ง |
นำเข้า A (คลาส Krytox GPL 205) | 2,800–3,500 | 8–12 สัปดาห์ | 25 กก. | ต้นฉบับภาษาอังกฤษ | ราคาหน้าโรงงาน + คลังสินค้าทัณฑ์บนเซี่ยงไฮ้ |
นำเข้าเกรด B (MOLYKOTE HP-300) | 2,400–3,000 | 6–10 สัปดาห์ | 20 กก. | ต้นฉบับภาษาอังกฤษ | ราคาหน้าโรงงาน + ตัวแทนจำหน่ายในภูมิภาค |
เจียเลเด YBS-1768 | 950–1,250 | 3–7 วัน | 1 กก. (ตัวอย่าง) | มาตรฐาน CN/EN 16 ส่วน + รายงาน SGS | ส่งตรงจากตงกวน จัดส่งภายในวันเดียวกัน |
แหล่งที่มา: รายงานประจำปี 2024 ของ Chemours (ข้อมูลยอดขาย Krytox ในภูมิภาคเอเชียแปซิฟิก); ราคาในแคตตาล็อกผลิตภัณฑ์ MOLYKOTE ปี 2024; รายการราคาหน้าโรงงานของ Jialede เดือนมิถุนายน 2026 ราคาที่นำเข้าเป็นราคา CIF รวมภาษีแล้ว ราคาในประเทศเป็นราคาหน้าโรงงานรวมภาษีแล้ว
ในด้านต้นทุน YBS-1768 มีราคาต่ำกว่าวัสดุนำเข้าประเภท A ถึง 60-66% และต่ำกว่าวัสดุนำเข้าประเภท B ถึง 50-60% เมื่อมีคุณสมบัติเทียบเท่ากัน ในด้านระยะเวลานำส่ง จาก 6-12 สัปดาห์ เหลือเพียง 3-7 วัน ซึ่งเป็นการปรับปรุงการหมุนเวียนสินค้าคงคลังได้ถึง 6-12 เท่า และในด้านปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำ ตัวอย่างขนาด 1 กิโลกรัม ช่วยให้โรงงานผลิตสามารถทดสอบความเข้ากันได้ก่อนที่จะตัดสินใจสั่งซื้อในปริมาณมาก ซึ่งเป็นสิ่งที่ช่วยลดความเสี่ยงในการเปลี่ยนมาใช้วัสดุนี้ได้อย่างแท้จริง
สำหรับทีมงานด้าน EHS และจัดซื้อจัดจ้างที่ทำงานภายใต้กรอบการปฏิบัติตามกฎระเบียบ ลำดับขั้นตอนต่อไปนี้ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าได้ผล:
เหตุการณ์ฟลูออไรด์ในเกาหลีไม่ใช่เหตุการณ์โดเดี่ยว ระหว่างปี 2024 ถึง 2026 มาตรฐานการปฏิบัติตามข้อกำหนดสำหรับวัสดุสิ้นเปลืองในกระบวนการผลิตที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบ รวมถึงสารหล่อลื่น ได้เพิ่มสูงขึ้นอย่างเป็นระบบในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก ในประเทศจีน ข้อโต้แย้งเรื่องการผลิตในประเทศได้เปลี่ยนไปแล้ว: ไม่ใช่แค่เรื่องต้นทุนอย่างเดียวอีกต่อไป แต่เป็นต้นทุนบวกกับเอกสารการปฏิบัติตามข้อกำหนดที่สามารถตรวจสอบได้
Jialede YBS-1768 มีประสิทธิภาพเทียบเท่ากับ Krytox GPL 200-series ในด้านความปลอดภัย 3 ด้านที่ผู้ตรวจสอบทำการทดสอบจริง ได้แก่ ความเฉื่อยทางเคมี การไม่ติดไฟ และความเป็นพิษเฉียบพลันต่ำ และมีข้อดีเพิ่มเติมคือ ระยะเวลานำส่ง 3-7 วัน ปริมาณสั่งซื้อขั้นต่ำ 1 กิโลกรัม และต้นทุนที่ต่ำกว่า 60-66% สำหรับทีม EHS และทีมจัดซื้อของโรงงานผลิต การใช้ช่วงเวลาการรับรองซ้ำ 6-12 เดือนในปัจจุบันเพื่อรับรองแหล่งที่มาที่สองก่อนที่จะเกิดเหตุการณ์ครั้งต่อไป ไม่ใช่หลังจากนั้น เป็นสิ่งที่ควรทำ
ข้อสงวนสิทธิ์: ข้อมูลในบทความนี้ได้มาจากแหล่งข้อมูลสาธารณะและบันทึกการทดสอบของโรงงานเจียเลเด และไม่ถือเป็นข้อกำหนดในสัญญาซื้อขายใดๆ การใช้งานเฉพาะเจาะจงต้องได้รับการยืนยันโดยเทียบกับสภาพการใช้งานจริงของอุปกรณ์และข้อกำหนดการหล่อลื่นของผู้ผลิตอุปกรณ์ดั้งเดิม (OEM)
ติดต่อเรา
ที่อยู่: อาคาร 15 เลขที่ 142 ถนนจิงไห่ตะวันตก เมืองฉางอาน เมืองตงกวน มณฑลกวางตุ้ง ประเทศจีน