Tuân thủ các quy định an toàn về fluoride trong chất bán dẫn: Hướng dẫn thực tiễn về lựa chọn mỡ bôi trơn PFPE.

2026-09-28

Vào tháng 6 năm 2026, Bộ Lao động và Việc làm Hàn Quốc đã mở một cuộc kiểm tra an toàn tại chỗ kéo dài sáu tháng đối với 25 công ty sản xuất chất bán dẫn — trong đó có SK hynix — sau khi ghi nhận bảy sự cố rò rỉ fluoride trên toàn chuỗi cung ứng chất bán dẫn của cả nước chỉ trong vòng 18 tháng. Ba vụ khiến công nhân phải nhập viện vì bỏng hóa chất; một vụ dẫn đến việc phải sơ tán toàn bộ nhà máy.

Các cuộc kiểm tra này có ý nghĩa rất lớn, không chỉ riêng ở Hàn Quốc. Chúng đánh dấu một sự thay đổi mà các đội ngũ EHS (Môi trường, Sức khỏe và An toàn) tại các nhà máy sản xuất trên toàn thế giới đang trải qua: quản lý rủi ro fluoride đã được chuyển lên khâu đầu nguồn, từ việc ứng phó khẩn cấp sau sự cố rò rỉ đến việc thẩm định vật liệu trước khi đơn đặt hàng được lập. Chất bôi trơn — vốn từ lâu được coi là một mặt hàng tiêu hao — giờ đây cũng nằm trong phạm vi đó.

1. Những thay đổi thực sự mà các cuộc thanh tra tại Hàn Quốc mang lại

Phạm vi kiểm tra bao gồm phát hiện khí phản ứng, vòi sen khẩn cấp, trung hòa sương axit và – đáng chú ý – tính đầy đủ của MSDS đối với các vật tư tiêu hao trong quy trình, bao gồm cả chất bôi trơn chứa flo. Danh sách sự cố giống như một chuyến tham quan kho chứa flo của nhà máy: HF, NF₃, SF₆ và CF₄, tập trung ở các khu vực khắc, trạm làm sạch ướt và hệ thống cung cấp hóa chất.

Nhịp điệu quản lý của Trung Quốc cũng chỉ ra điều tương tự. Năm 2024, Bộ Quản lý Khẩn cấp đã đưa khí chuyên dụng điện tử và hóa chất flo hóa vào tiêu chí nhận diện mối nguy hiểm chính đối với các doanh nghiệp công nghiệp và thương mại; dự thảo tiêu chuẩn xả thải chất gây ô nhiễm năm 2025 của Bộ Sinh thái và Môi trường đã siết chặt các yêu cầu đối với chất thải VOC và florua. Hiệu quả thực tiễn rất đơn giản: chất bôi trơn không thể cung cấp hồ sơ tuân thủ đầy đủ và có thể truy xuất nguồn gốc giờ đây không chỉ là rủi ro kỹ thuật mà còn là rủi ro trong khâu mua sắm.

2. Nguy cơ fluoride thực sự nằm ở đâu trong nhà máy sản xuất?

Sự tiếp xúc với florua trong nhà máy sản xuất kim loại diễn ra qua ba lớp riêng biệt, và mỗi lớp lại gây ra những hư hại khác nhau tại giao diện bôi trơn. Hiểu rõ bạn đang thiết kế cho lớp nào chính là yếu tố quyết định giữa một loại mỡ bôi trơn vượt qua được cuộc kiểm tra và một loại mỡ bôi trơn chịu được quá trình vận hành của thiết bị.

2.1 Hồ sơ nguy hiểm theo lớp tiếp xúc

Lớp	Các chất đại diện	Mối nguy hiểm chính	Các địa điểm sản xuất điển hình	Ảnh hưởng đến chất bôi trơn
Khí phản ứng trong quy trình	HF, NF₃, SF₆, CF₄	Ngộ độc cấp tính, bỏng hóa chất, ngạt thở	Khắc axit, làm sạch ướt, CVD	Sương axit tấn công chất làm đặc xà phòng → phân hủy chất béo
Hóa chất xử lý chứa flo	Chất tẩy rửa và chất ăn mòn chứa flo	Gây kích ứng da, phát thải VOC	Làm sạch wafer, loại bỏ	Mỡ trương nở → chất bôi trơn bị rửa trôi
chất bôi trơn chứa flo	Mỡ PFPE, màng khô flo hóa	Sản phẩm phân hủy nhiệt, quá trình oxy hóa	Máy bơm chân không, buồng CVD, robot	Thiết lập trực tiếp mức độ an toàn nội tại của công cụ.

2.2 Bốn yêu cầu không thể thương lượng

Khi xem xét kỹ các tiêu chuẩn SEMI S2/S8, OSHA 29 CFR 1910.1200 (HazCom) và GB/T 16483, các yêu cầu đều hội tụ ở bốn điểm sau:

Tính trơ về mặt hóa học — không bị phân hủy và không tạo ra sản phẩm phụ có tính axit khi tiếp xúc lâu dài với NF₃, HF, O₃ hoặc O₂.
Tính không bắt lửa — điểm chớp cháy, điểm bắt lửa và nhiệt độ tự bốc cháy phải đảm bảo sử dụng an toàn ở nhiệt độ 200 °C trở lên trong môi trường chân không hoặc giàu oxy.
Độ độc cấp tính thấp — LD₅₀ khi dùng đường uống và đường da xếp vật liệu này vào Loại 5 trở lên theo GHS, tức là thực tế không độc hại.
Hồ sơ đầy đủ — bảng dữ liệu an toàn vật liệu GHS 16 mục, giấy chứng nhận phân tích lô hàng và các tuyên bố RoHS và REACH hiện hành.

3. Tại sao các nhà máy chỉ định mỡ PFPE?

Mỡ PFPE được cấu tạo từ dầu gốc PFPE được làm đặc bằng PTFE. Cấu trúc chính của nó là chuỗi ete C–O–C với các nhóm bên được flo hóa hoàn toàn — một cấu trúc đặc biệt ít bị ảnh hưởng bởi các phản ứng hóa học diễn ra xung quanh nó bên trong một thiết bị xử lý. Chính sự ít bị ảnh hưởng đó lại giúp nó đáp ứng các tiêu chuẩn.

3.1 Các thông số an toàn, được so sánh với các tiêu chuẩn.

Tham số	Mỡ bôi trơn PFPE	Mỡ dầu khoáng	Mỡ polyurea	Mỡ silicon	Ưu điểm của PFPE
Điểm bắt lửa (cốc hở)	Không có	200–260 °C	230–280 °C	300–330 °C	Không bắt lửa
Nhiệt độ tự bốc cháy	>600 °C	260–370 °C	280–330 °C	400–450 °C	Sẽ không tự bốc cháy ở nhiệt độ
Phản ứng với NF₃	Không có	Hung bạo	Chậm	Vừa phải	An toàn trong môi trường khí công nghiệp
Liều gây chết cấp tính qua đường uống (LD₅₀) (chuột)	>5.000 mg/kg	2.000–5.000 mg/kg	3.000–8.000 mg/kg	>10.000 mg/kg	Hầu như không độc hại
Phân loại nguy hiểm GHS	Không được phân loại	Loại 1–3 (hít phải)	Hạng mục 2–4	Không được phân loại	Không có nhãn dán xử lý đặc biệt

Cơ sở thử nghiệm: ASTM D92 (điểm chớp cháy cốc hở), ASTM E659 (tự bốc cháy), OECD 423 (độc tính cấp tính qua đường uống), loạt GB 30000 (phân loại GHS).

3.2 Phân tích thông qua trường hợp Hàn Quốc

Hãy so sánh bảng đó với môi trường mà các thanh tra viên thường xuyên phải làm việc – cặn NF₃/CHF₃ trong khu vực khắc mạch, hơi HF ở các bàn làm việc ướt, sản phẩm phụ trong quá trình trung hòa sương axit. Mỡ dầu khoáng bị ăn mòn bởi sương axit và để lại cặn xà phòng; mỡ silicon phân hủy chậm dưới tác động của NF₃. Khả năng tương thích lâu dài của PFPE với cả ba môi trường này là lý do tại sao nó được ghi trong các thông số kỹ thuật bôi trơn của hầu hết các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn hàng đầu.

4. Mỡ PFPE Jialede YBS-1768

YBS-1768 là mỡ PFPE được làm đặc bằng PTFE, đạt cấp độ NLGI 2, do Dongguan Jialede Lubricating Materials phát triển dành cho môi trường khí trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.

4.1 Thông số kỹ thuật chính so với Krytox GPL 205

Tham số	YBS-1768	Phương pháp thử nghiệm	so với Krytox GPL 205
Dầu gốc	PFPE (–OCF₂CF₂– khung xương)	Quang phổ hồng ngoại	Tương đương
Chất làm đặc	PTFE	GB/T 19468	Tương đương
Cấp độ NLGI	2	GB/T 269	Tương đương
Điểm thả rơi	≥260 °C	GB/T 3498	Tương đương
Độ nhớt của dầu gốc ở 40 °C	160–200 cSt	GB/T 265	Tương đương
Độ nhớt của dầu gốc ở 100 °C	40–50 cSt	GB/T 265	Tương đương
Điểm bắt lửa (cốc hở)	Không có	ASTM D92	Tương đương
Nhiệt độ tự bốc cháy	>620 °C	ASTM E659	Cao hơn 3,3%
Lượng hao hụt do bay hơi, 200 °C × 22 giờ	≤3,0%	GB/T 7325	Tương đương
Tương thích với NF₃, 80 °C × 168 giờ	Không có phản ứng	SEMI C3.13	Tương đương
Khả năng tương thích 49% với HF, 25 °C × 168 giờ	Không có phản ứng	ASTM D543	Tương đương
vết mài mòn bốn bi	≤0,55 mm	GB/T 12583	Nhỏ hơn 8,3%
Phạm vi nhiệt độ hoạt động	-40 đến 250 °C	Đánh giá của nhà máy	Tương đương
Chứng nhận	Tuân thủ RoHS 2.0, REACH SVHC, Không chứa halogen	Bên thứ ba	Phạm vi phủ sóng REACH bổ sung

Nguồn: Báo cáo thử nghiệm nhà máy YBS-1768 (lô JLD-2026-0612-3); báo cáo của bên thứ ba SGS-CB-2026-05417; dữ liệu Krytox GPL 205 từ bảng dữ liệu kỹ thuật dòng Chemours GPL 200 (phiên bản 2024).

4.2 Nơi nó hoạt động

Vòng bi bơm chân không khô — 8.000 giờ hoạt động liên tục trong môi trường khí NF₃/O₃ mà không gặp sự cố, thay thế cho loại nhập khẩu.
Vòng bi truyền động buồng CVD/PECVD — hoạt động ổn định ở 250 °C liên tục, với tổn thất do bay hơi khoảng 20%, thấp hơn mức trung bình của ngành.
Khớp robot xử lý wafer EFEM — mô-men xoắn thấp và lượng phát thải hạt thấp, phù hợp với phòng sạch cấp 1.
Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) cho dụng cụ khắc – không có phản ứng khi tiếp xúc lâu dài với NF₃/CHF₃; phù hợp với quy trình bôi trơn MFC theo tiêu chuẩn SEMI E12.

5. Cửa sổ định vị

Năm 2025, 3M đã rút khỏi thị trường chất bôi trơn PFPE toàn cầu, để lại Krytox (Chemours), MOLYKOTE (Dow) và Klüber nắm giữ khoảng 78% thị trường mỡ bôi trơn PFPE dùng cho ngành bán dẫn của Trung Quốc. Các cuộc kiểm tra tại Hàn Quốc năm 2026 đã tạo thêm một tác động thứ hai: chu kỳ xem xét lại việc tuân thủ, chủ động mở lại các danh sách nhà cung cấp đã bị đóng cửa trong nhiều năm. Từ đó, có hai nhà cung cấp được mở lại.

5.1 Cơ hội A — đợt tái thẩm định

Kể từ khi các cuộc kiểm tra bắt đầu, các bộ phận An toàn Môi trường và Sức khỏe (EHS) tại các nhà máy lớn đã tiến hành lại các đánh giá an toàn đối với vật tư tiêu hao chứa flo, yêu cầu các nhà cung cấp hiện tại cung cấp bảng dữ liệu an toàn vật liệu (MSDS) 16 phần được cập nhật, các tuyên bố RoHS/REACH và báo cáo thử nghiệm sản phẩm phụ chứa flo. Đối với các nhà cung cấp PFPE trong nước đã có hồ sơ tuân thủ đầy đủ — bao gồm cả Jialede — quy trình này mở ra một khoảng thời gian tham gia từ 6 đến 12 tháng.

5.2 Cơ hội B — chi phí, thời gian giao hàng và số lượng đặt hàng tối thiểu

Lựa chọn	Giá (CNY/kg)	Thời gian giao hàng	MOQ	Tài liệu	Khả năng giao hàng
Nhập khẩu A (lớp Krytox GPL 205)	2.800–3.500	8–12 tuần	25 kg	Bản gốc tiếng Anh	Giá xuất xưởng + kho ngoại quan Thượng Hải
Nhập khẩu loại B (MOLYKOTE HP-300)	2.400–3.000	6–10 tuần	20 kg	Bản gốc tiếng Anh	Giá xuất xưởng + nhà phân phối khu vực
Jialede YBS-1768	950–1.250	3–7 ngày	1 kg (mẫu)	Tiêu chuẩn CN/EN 16 phần + báo cáo SGS	Giao hàng trực tiếp từ Đông Quan, vận chuyển trong ngày.

Nguồn: Báo cáo thường niên năm 2024 của Chemours (thông tin doanh số bán hàng Krytox khu vực châu Á - Thái Bình Dương); bảng giá trong catalogue sản phẩm MOLYKOTE năm 2024; bảng giá xuất xưởng của Jialede tháng 6 năm 2026. Giá nhập khẩu đã bao gồm thuế theo giá CIF; giá trong nước đã bao gồm thuế theo giá xuất xưởng.

Về chi phí, YBS-1768 rẻ hơn 60–66% so với hàng nhập khẩu loại A và rẻ hơn 50–60% so với hàng nhập khẩu loại B với thông số kỹ thuật tương đương. Về thời gian giao hàng, 6–12 tuần được rút ngắn xuống còn 3–7 ngày — cải thiện vòng quay hàng tồn kho gấp 6 đến 12 lần. Về số lượng đặt hàng tối thiểu (MOQ), mẫu 1 kg cho phép nhà máy tiến hành thử nghiệm khả năng tương thích trước khi cam kết sản xuất với số lượng lớn, điều này thực sự giúp giảm thiểu rủi ro khi chuyển đổi.

6. Danh sách kiểm tra thay thế sáu bước

Đối với các nhóm EHS và mua sắm làm việc trong khuôn khổ tuân thủ, đây là trình tự đã được chứng minh là hiệu quả:

Đánh giá năng lực — yêu cầu MSDS GHS 16 phần, báo cáo RoHS 2.0, tuyên bố REACH SVHC, báo cáo không chứa halogen và chứng chỉ ISO 9001:2015. Thiếu tài liệu, không có mẫu.
Thử nghiệm mẫu — vận hành 1 kg tại trạm mục tiêu (bơm chân không, CVD, robot) trong 720 giờ, ghi lại mô-men xoắn, tiếng ồn, sự tăng nhiệt độ và lượng hạt phát thải.
Khả năng tương thích với khí xử lý — ngâm mẫu 50 g trong HF 49% và NF₃ trong 168 giờ, sau đó so sánh phổ hồng ngoại. Các nhóm chức mới đồng nghĩa với việc nhà cung cấp không được đưa vào danh sách đủ điều kiện.
Kiểm tra chéo thông số kỹ thuật của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) — xác nhận xem nhãn hiệu được nêu trong sách hướng dẫn thiết bị có thể được thay thế theo tuyên bố tuân thủ của nó hay không. Hầu hết các nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) chính thống đều chấp nhận bộ lọc khí thải (PFPE) nội địa có hiệu suất tương đương.
Thử nghiệm quy mô nhỏ — từ hai đến ba trạm không quan trọng trong ba tháng trước khi triển khai rộng rãi.
Đánh giá lại hàng năm — cập nhật báo cáo MSDS và RoHS/REACH mỗi năm và duy trì hồ sơ tuân thủ của nhà cung cấp theo thời gian thực.

Kết luận: hãy định vị ngay bây giờ, trong khi cửa sổ vẫn còn mở.

Các sự cố liên quan đến florua ở Hàn Quốc không phải là trường hợp cá biệt. Từ năm 2024 đến năm 2026, tiêu chuẩn tuân thủ đối với các vật liệu tiêu hao có chứa florua – bao gồm cả chất bôi trơn – đã tăng lên một cách có hệ thống trong toàn ngành công nghiệp bán dẫn toàn cầu. Tại Trung Quốc, lập luận về nội địa hóa đã thay đổi: không còn chỉ là chi phí đơn thuần, mà là chi phí cộng với hồ sơ tuân thủ có thể chịu được kiểm toán.

Jialede YBS-1768 đạt hiệu suất tương đương với dòng Krytox GPL 200 trên ba khía cạnh an toàn mà các thanh tra viên thực sự kiểm tra — tính trơ hóa học, không bắt lửa và độc tính cấp tính thấp — đồng thời có thời gian giao hàng từ 3-7 ngày, số lượng đặt hàng tối thiểu 1 kg và lợi thế về chi phí từ 60-66%. Đối với các nhóm EHS và mua sắm của nhà máy, giải pháp thiết thực là sử dụng khung thời gian tái chứng nhận hiện tại từ 6-12 tháng để chứng nhận nguồn cung cấp thứ hai trước khi xảy ra sự cố tiếp theo, chứ không phải sau đó.

Lưu ý: Dữ liệu trong bài viết này được lấy từ các nguồn công khai và hồ sơ thử nghiệm của nhà máy Jialede, và không cấu thành điều khoản của bất kỳ hợp đồng mua bán nào. Các ứng dụng cụ thể phải được xác nhận dựa trên điều kiện thực tế của thiết bị và thông số kỹ thuật bôi trơn của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM).

Trước đó

Sản phẩm 3M Novec™ 7100 đã ngừng sản xuất; sản phẩm thay thế do Jialede sản xuất trong nước đảm bảo tính liên tục của các quy trình sản xuất chính xác.