YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일

고진공 불소에테르 오일은 퍼플루오로폴리에테르(PFPE)의 가장 중요한 응용 분야 중 하나입니다. PFPE 분자는 CC 골격에 F와 O 원자가 결합되어 있습니다. 이 두 원자는 강한 전기음성도를 가지고 있어 우수한 화학적 안정성, 열 안정성 및 뛰어난 물리적 특성을 나타냅니다. 염화불화탄소(CFC) 윤활유와 비교했을 때, PFPE 윤활유는 적용 범위가 더 넓으며 고온에서의 쉬운 증발이나 저온에서의 점도 증가와 같은 수소불화탄소의 단점을 가지고 있지 않습니다. 또한, 분자에 수소가 포함되어 있지 않기 때문에 사용 중 윤활유 압력으로 인한 장비 부식을 유발하지 않습니다.
집적 회로의 플라즈마 에칭은 진공 상태에서 수행되므로 기계식 진공 펌프가 필요합니다. 시스템 내에 부식성 가스가 존재하기 때문에 광물성 진공 펌프 오일은 빠르게 열화됩니다. 그러나 퍼플루오로폴리에테르는 탁월한 화학적 불활성과 우수한 증발 특성을 지니고 있어 집적 회로 플라즈마 에칭용 진공 펌프 오일로 널리 사용됩니다.

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성능 특성

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일은 다음과 같은 장점을 가지고 있습니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 6 완전 차폐 구조로 고온에서도 뛰어난 안정성을 자랑합니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 7 인화점도 없고, 발화점도 없으며, 연소되지 않습니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 8 증기압이 낮고 휘발성이 낮습니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 9 금속, 플라스틱 및 엘라스토머와의 호환성.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 11 화학적 불활성, 내수성 및 용제성;

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 12 우수한 방사선 안정성;

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 13 낮은 표면장력, 높은 점도, 우수한 윤활성;

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 14 높은 유전 특성;

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 15 안전하고 무독성이며 환경친화적입니다.

성능 특성

YBS-1304	테스트 방법	테스트 조건	단위	매개변수
적용 가능한 온도 범위			℃	-41~204
평균 분자량			아무	2800
점도	ASTM D445	20℃ (68℉)	mm 2 /s	193

		100℃ (212℉)		9
유동점	ASTM D97	-	℃	-43
밀도	-	20도	g/ml	1.9
밀도	-	100도	g/ml	1.75
증발 손실	ASTM D 2595	149℃ (300℉), 22시간	℃	< 1
증발 손실	ASTM D 2595	204℃ (400℉), 22시간	℃	/
표면 장력		25℃	밀리뉴턴/미터	19
증기 가열	크누드센	150~250℃	기음	9

적용 및 포장 사양

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 16 진공 펌프의 밀봉 매체로서, 뛰어난 화학적 불활성, 고온 저항성 및 낮은 증기압 특성을 지니고 있어 진공 시스템의 밀봉 성능과 최종 진공도를 효과적으로 향상시킬 수 있습니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 17 고온/저온 또는 화학적으로 부식성 환경의 다양한 밸브, 플러그 및 베어링의 윤활 및 동적 밀봉에 적합합니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 18 저온 또는 고온 조건에서 플라스틱/플라스틱, 플라스틱/금속 및 고무 부품은 물론 슬라이딩 베어링에 오래 지속되는 윤활 기능을 제공합니다.

YBS-1304 퍼플루오로폴리에테르 오일 19 공압 밸브 및 실린더 피스톤의 밸브 본체와 씰의 동적 윤활 및 밀봉에 적합합니다. 안전성과 신뢰성이 향상되고, 수명이 매우 길며, 가동 중지 시간이 단축됩니다.

진공 펌프

플러그

금속

플라스틱

고무 부품

슬라이딩 베어링

실린더 피스톤

공압 밸브

밸브

문장

작동 시 주의사항

■ 오염을 방지하려면 용기를 단단히 밀봉하여 보관하십시오.
■ 호환성이 확인되지 않은 다른 윤활유와 혼합하지 마십시오.
■ 통풍이 잘 되는 곳에서 사용하십시오. 피부에 장시간 닿지 않도록 하십시오.
■ 직사광선을 피해 깨끗하고 건조한 곳에 보관하십시오.

사용 방법

■ 사용 전에 적용 표면을 깨끗이 닦고 건조시키십시오.
■ 필요에 따라 한 방울, 브러시 또는 분사 시스템을 이용하여 고르게 도포하십시오.
■ 과다 축적을 방지하기 위해 적정량을 사용하십시오.
■ 작동 조건 및 유지보수 주기에 따라 재적용하십시오.

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